تأثير تركيز ايزوبروبانول الكحول وزمن النحت على عملية النحت الكيميائي اللامتناحي الرطب لرقاقة من السيليكون المتبلور مقاوميتها منخفضة.
- 07 Oct 2017
- الأبحاث المنشورة باسم الجامعة - الصيدلة
| الباحث | د. ابراهيم الغريبي- اياد عبد الرحمن- د. حسان الكردي |
| منشور في | International Journal of Analytical Chemistry Volume 2017, July 2017 |
| الملخص | تمّ إنشاء بنى هرمية ميكروية على سطح رقاقات من السيليكون المتبلور ذات التوجه البلوري (100) باستخدام طريقة النحت الكيميائي اللامتناحي الرطب وذلك بهدف تقليل انعكاسية سطح الرقاقة وبالتالي زيادة امتصاصيتها للضوء الوارد. تم استخدام محلول إيزوبروبانول الكحول في عملية التخشين. تمت دراسة تأثير كل من تركيز إيزوبروبانول (2, 4, 6, 8 and 10%) وزمن التخشين (10، 20، 30، 40، 50 دقيقة) على الخواص البنيوية والضوئية لعينات السيليكون. بينما تم تثبيت باقي الشروط مثل تركيز هيدروكسيد الصوديوم (12% wt.) ودرجة الحرارة (81.5 oC) وسرعة دوران الخلاط المغنطيسي (400 rpm). تمت دراسة مورفولوجيا وطبوغرافيا السطح الناتج عن طريق المجهر الضوئي ومجهر القوة الذرية (AFM). أظهرت صور الـ AFM تشكل بنى هرمية متجانسة وبكثافة عالية على سطح رقاقة السيليكون وبأبعاد تتراوح بين 1 و 1.6 μm. تم استخدام مطياف UV-VIS مجهز بكرة تكاملية وذلك لدراسة الانعكاسية الكلية لسطح الرقاقة. أظهرت نتائج المطيافية أن العينات الناتجة تتمتع بامتصاصية مرتفعة وانعكاسية كلية منخفضة وخاصة في المجال المرئي. والمعاملات المثالية لعملية النحت كانت عند 4-6 % vol من تركيز ايزوبروبانول الكحول وزمن 40 min وبمتوسط انعكاسية كليلة لسطح الرقاقة 11.22% جل أH
الكلمات المفتاحية: سيليكون متبلور، مجهر القوة الذرية AFM، تقنية التخشين الكيميائي اللامتناحي الرطب، بنى هرمية ميكروية، مادة فعالة سطحيا. |
| رابط البحث |
